第231章 第四代光刻机

　　第四代光刻机应该是个什么样子？应该具备那些参数？这些东西，此时都已经装在了赵烨的脑子里。

　　首先，光刻机，顾名思义，要有光。

　　光是激光，而能用于工业生产上的激光，也就是那么几个波段。目前来讲，赵烨他的应用的还是跟二十年前的一样的高压汞灯。

　　只不过这种灯也更新换代好几次了，提供的激光波长如今已经到了436nm。光源的波长，直接影响着芯片工艺的制程。

　　简单理解，这个波长就好比凿子的宽度，你想用一厘米宽的凿子，雕刻半厘米宽的线。这几乎是不可能的。

　　这里用几乎，当然就有特殊情况了。就比如赵烨他们搞得浸入式技术。在晶圆表层注入一毫米纯净水，利用水对光的折射，进而改变激光的波长。

　　这个技术，目前还是国内光刻机行业的绝密，所有接触和知道这项技术的人，不客气的讲，都在保密部门的监督下生活着，只不过他们自己不知道或者装作不知道而已。

　　说这些，是因为赵烨想要提高制程工艺，第一步要解决的就是光源的问题。

　　高压汞灯还能在进步几个波次，这项技术，还没有到达他的极限。

　　对于没有嚼干净味道的口香糖，赵烨是不会轻易吐掉的。所以第一个任务，就是攻克高压汞灯的极限。把436nm和365nm波长的激光，做到工业生产的级别。

　　有了波长436nm的光刻光源，赵烨就能把利华当前的制程工艺提升到800-1200nm之间。使得利华高端芯片的制程，全面进入纳米级别。

　　他的第二波次，是把制程进步到350-500nm。相应地要用到更短的波长，即365nm的光源。

　　而刚好436nm和365nm分别是高压汞灯中能量最高、波长最短的两个谱线。如此一来，不但能更高效的进行工业化生产，还能大大提高芯片的性能。

　　赵烨计划用这两个波次的高端芯片，直接冲击目前的芯片市场。只要两个波次的时间把握好了，赵烨有信心，就这么一下，市场上的光刻机生产商，最少得倒下一多半儿。

　　完善和研发成熟的高压汞灯这项任务，落到了近些年来，主攻激光灯泉教授头上。赵烨这次没有“吝啬”，该给的方案都给了众人。现在已经没有保留的必要了，他最新的方案，已经准备放弃汞灯的路线，开发全新的光源系统。

　　新的光源系统组，毫无意外的落到了欣然的头上。这个今年才24岁的小丫头，目前正在准备结婚。赵烨为此亲自找到慈教授，让他去做他孙子的工作。接下来的一到两年，他是不准备给欣然走出实验室的机会了。

　　“欣然，还有诸位，接下来，你们的新项目，是开发一种准分子激光，利用这种准分子激光，得到大功率的，能进行光刻的深紫外光。当前，你们的任务就是把这种激光做出来。做出来以后，我们再在其中，选出我们可以利用的波长。”说完，赵烨就开始给他的学生们发资料。

　　看着文件上的信息，就连欣然也感到头皮发麻。这种技术要求太高了，目前看来，就跟外星科技一样。

　　欣然只是震惊了一下，就赶紧收敛心神，认真的听赵烨讲解技术难点和细节设想。

　　在赵烨的讲解中，欣然等研究员，骇然的发现，赵烨这个导师已经把制程精度定在了350nm以下了。这意味着，他们要研发的光源波长，不能超过也300nm。事实也正如如此，赵烨给出的目标是两个波段的要求，248nm和193nm。

　　这个要求，已经达到他前世九十年代末和新世纪初的技术水平了。可想而知，在当下的八十年代初，各方面的理论基础都不完备的情况下，这个项目组要面临怎么样的困难。

　　不过这并没有让这帮研究员们气馁，因为他们也不是特别清楚这到底意味着什么。他们只知道的是，他们的导师回归一线了，他们又能愉快的攀爬技术高峰了。

　　这帮人对赵烨的信心，简直比赵烨对系统爸爸的信心还要足。

　　光源只是第一步，当然也是最重要的一步。没有这个基础，其他的东西想都不要想。

　　在给光源组布置好了任务以后，赵烨下一个目标就是透镜组。

　　此时赵烨他们应用的透镜，是川省一个光学仪器研究所的产品。在他们应用的光刻机上，这些透镜组有大大小小几十个，重量加起来绝对超过上千斤。

　　而即便是这样，赵烨依然又给出了更高的要求。透镜本身也是要消耗能量的，如果即能提高镜片的透光度，又能保证镜片研磨的平整度，还能减少对特定波长激光的损耗，就是摆在研究员和技师们面前最大的困难。

　　对于透镜组来讲，不单单是需要好学问的研究员，更加需要好手艺的技术工人。

　　就比如磨镜片，目前基本都是手工。就目前赵烨他们的要求来讲，对于直径三十厘米的镜片，平整度的误差范围是不高于三微米。

　　这个要求，任何的机器都基本没戏，只能依靠工人的双手，一点点的去感觉，去打磨。在这个领域，基本没有任何机器能代替人的双手。而且，现在是这样，再过四十年，依然是这样。

　　在精细化方面，机器一直无法超越人类。

　　为此，赵烨专门向上级申请了，要把这个研究所，并入利华集团来。这个研究所的人员并不会被转移到京城，那样只能毁了这个研究所。

　　他要做的就是在以后的日子里，保证这个研究所的经费，照顾好这些，生活在大山深处的匠人们的生活。

　　他们需要的是安静，平淡，繁华只能让他们的心变得浮躁，进而影响到他们的手。

　　可能这很残忍，但任何职业都有牺牲。赵烨能做的，只是让这种牺牲变得更值得。

　　对于光刻胶，赵烨只是把光源组那边的研究目标告诉他们，让他们分别研发相应的光刻胶。对于这个，其实赵烨是最有把握的。安排专门的项目组，也是为了培养队伍。总不能没次都是他自己来吧！

　　等着些事情都安排妥当后，赵烨就只剩下另外一个困难了，那就是自动化控制。

　　目前的光刻机，已经基本脱离了人工操作的范畴。无论是效率还是精度上。人工操作都不能再适应新的要求了。

　　这一块，对于赵烨来讲，才是最难的部分。

　　在当下，曾经拒绝自己的京一机已经废了。十年以来，他们几乎就没有过任何的进步。生产的东西还是老一套，任何的技术进步都看不到。

　　沈机好一些，但也就是好一些。因为有很多的军工任务，多少还保持着一些技术进步。但是在自动化控制这一块，也是多年没有过升级。如今他们就是想把这一块捡起来，多少页有点费劲，因为不仅仅是技术出现了断代人才同样有断代。

　　目前来讲，赵烨想要在这块搞技术研发的话，只有两个选择。一个是镇南的自动化研究所，另一个就是前几年成立的西二机。

　　目前来讲，自动化所胜在技术研发能力，西二机胜在技工队伍和一线经验。赵烨是个成年人，所以他的选择是都要。

　　这两家单位跟赵烨的交情都不浅，所以赵烨的求援电报一发出，两家都排出了自己顶尖的力量，进行支援。

　　其实，这个光刻机整体应该是个什么样子，赵烨已经心中有数了，甚至于，其中的技术难点和解决方案，他都靠着系统给整理出来了。

　　在他的虚拟实验室里，这些都不是难事，真正的难点是，如何把这些东西变成实物。变成实实在在的生产装备。

　　再一个全新的试验车间里，两家派来的队伍都集中在了这儿。他们要做的第一件事，就是给自己的设计搭建一个可靠的平台。

　　在以往，或者说在赵烨前世的时候，设计和生产几乎可以放在不同的地方。

　　比如一台设备，设计师可以坐在写字楼里，在电脑或者图纸上，尽情的构思，计算。然后一点点的实现设计要求中的能力，解决实际应用中的各种困难。

　　但在赵烨这里，这个是行不通的。

　　原因很简单，你可以把图纸画成这样，但是工厂不一定能生产出来。如今赵烨他们做的，几乎已经超越了目前世界主流的生产加工能力。在国内的话，连台像样的精密机床都没有，你的设计图再好，也不一定能实现。

　　所以怎么办呢？先在理论上，完成一个基本的设计思路，证明这个方法是能够实现功能要求的。然后再根据这个设计思路，确定需要的装备。能买的买，不能买的造。这还不算完，在这些事情之前，大家还要先搭建一个实验平台，证明一下各个子项目的理论是不是能够成型，是不是正确的。

　　这还是只是机加工方面，具体到测量，控制系统，各种传感器等等一系列的问题，都要他们这些人独自啃下来。

　　


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